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两大巨头维易科、爱思强纵论MOCVD

时间:2018-09-13编辑: admin 点击率:

  两大巨头维易科、爱思强纵论MOCVD

   MOCVD是决议高亮度LED亮度、良率和本钱的最要害出产过程

   维易科(Veeco)MOCVD市场总监李加博士以为,现在高亮度LED正处于严重添加周期的前期,无论是LED电视仍是LED照明,都有体现。MOCVD则是决议LED亮度、良率和本钱的最要害出产过程,现在,新MOCVD 技能正被引进,将有助改进本钱功率,下降具有本钱。

   李加介绍,依据VEECO 4Q10统计数据可猜测,LED TV 浸透率在 2011 年预期到达 50% ,到 2013 年将快速增至80%。在LED照明方面,LED 照明芯片需求未来五年年均复合成长率预估为 68%,野外和住所照明将别离占到23%和40%,引领LED芯片工业需求,其次是商业与工业照明。现在,LED照明使用仅仅初露头角。

   MOCVD是决议LED的功能和本钱的要害,因为MOCVD是LED 制作的要害工艺,LED的光色、亮度、电气特性和本钱都取决于 MOCVD。且现在购买MOCVD 设备占到LED 工厂本钱开销的50%以上。因而,要下降LED制作本钱,有必要经过MOCVD先进技能,如:TurboDisc MOCVD 技能等。该技能具有波长均匀性、喷头坚持洁净、高 GaN 成长率、便利转换为大尺度晶圆等优势。在高亮度 LED 制作体系规划方面,他介绍,下降MOCVD具有本钱,即可完成添加产值、削减碳脚印及进步本钱功率和良率。

   增大晶圆的尺度进步MOCVD外延片产值

   爱思强(Aixtron)营销副总裁Rainer Beccard 博士介绍了固态照明对 MOCVD 机台开展的几个要求,包含更高产值、更大晶圆、更高成长率、自动化、工艺整合和拓扑结构。

   Rainer Beccard博士先介绍了Haitz规律:从1965年第一个商业化的LED开端算,曩昔30多年来,LED约每18个月至24个月可进步一倍的亮度,因而推估2003年—2013年将会再成长20 倍的亮度,但价格将只要现在的1/10。 他从这个规律推出白光LED本钱、封装 LED 制作本钱将会下降,而要完成这个本钱下降,就要求MOCVD下降具有本钱,进步外延片产值。

   之前,LED制作商会以增大反应炉的传统方法来进步产值,如将出产2寸外延片的19片炉改换成55片炉,可是炉子本钱会相应加大。跟着技能的开展,晶圆尺度从 2寸转换到 6寸,产值进步了30%,但无需额定本钱,依托增大晶圆的尺度进步MOCVD产值,也就成为大都外延片出产商的首选。

   此外,他还介绍了MOCVD 技能开展的别的三个趋势——自动化、工艺整合和in situ 拓扑结构。MOCVD的自动化技能,能够削减GaN的非成长时刻,进步产值和再现性。MOCVD工艺整合技能,不但可进步功率和出产率,还可下降运转本钱,如:制作履行体系(MES )办理和剖析数据并操控设备等。

  

  

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